第三百三十七章 193nm ArF准分子激光器 (第3/3页)

氛，慢慢形成了龙华实验室学习性组织的企业文化，影响着一批批后来的员工。

    这天，李国成正躲在办公室看书，没有敲门，袁教授就冲了进来，如果不是得到小三的提示，他估计也会被吓一跳。

    李国成起身把袁教授让到沙发上，“怎么了，袁教授？”

    “好消息，大好消息，哈哈哈”，平时儒雅淡定的袁教授现在表现的非常狂放。

    李国成突然意识到什么，“袁教授，你们搞出来了”。

    袁教授重重的点了一下头，“在您的指导下，193nm ArF准分子激光器我们终于研发出来了”。

    李国成突然跳了起来，倒是把袁教授吓了一跳。

    “好，太好”，李国成在办公室里无意识地转着圈，双眼有点湿润。

    “多年的坚持，终于看到了曙光，有了DUV，EUV还会远吗？”

    接下来只要突破反射镜片，实现100纳米工艺将不是梦。随着经验的丰富，50纳米、28纳米的工艺将会被接连突破。

    恰巧，周晓娟团队在3个月前就突破了乳胶遮光膜的试制，基板李国成直接选择石英玻璃。

    它的化学稳定性高和热膨胀率，在使用环境上相对于其他材料对工艺生产环境的要求较低。

    现在只剩下反光镜片，一旦研发成功，具备现代意义的DUV光刻机就可以试制成功。

    对于现在实验室的实力，研发成功只是时间的问题。

    李国成把周晓娟、张芷静、闫解放和易师傅叫到会议室。

    确定了实验室接下来的主要工作方向转向DUV光刻机的研发。

    “小李，那9轴机床零部件的加工怎么办？”

    李国成也是一愣，“啊！那这样，易师傅你先带领团队完成当前手头上的任务，等完成后，再加入”。

    “那行，我尽量盯紧点”。

    虽然缺少易师傅的加入，但是他可以先把任务交给小一和小二。

    所以整个任务布置会，他表现的非常兴奋，恨不得大家都马上开工。

    他的表现引起了与会人员极大的疑惑。

    感谢大家的支持！！！求推荐！求月票！求评论！

    (本章完)